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超精密車牀在非球曲面以及超光滑表面的加工中具有廣泛應用。
系統介紹了超光滑表面的檢測、製備技術及其發展,並討論了拋光過程中的機械化學作用機理。
結果表明,這種拋光工藝能獲得原子級的超光滑表面。
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