三軸搭配光學尺做回饋補償，提高機臺精度。
文中引入了光纖的“光學尺寸”這一無量綱參數，並由此匯出了新的單模*散公式。
以及在該運動檯面的相對側設有單支的絕對式光學尺及兩組讀頭。
“光學尺”寫句子，用光學尺造句
造句
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“光柵尺”寫句子，用光柵尺造句
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