>
考慮了樑元的軸嚮應力和板元的薄膜應力的影響。
利用三點彎曲法研究了摻雜和末摻雜碳納米管薄膜應力誘導電阻的變化。
最後將錯位相移器應用於集成電路硅片薄膜應力分佈測試儀及錯位電子散斑干涉儀之中。
圖文推薦