1、研究了憎水基團的添加量對溶膠體系的穩定*和對二氧化硅膜潤溼*以及水汽穩定*的影響。
3、並將無顯影氣相光刻的方法應用於這種二氧化硅膜的刻蝕,透過優化後的光刻工藝參數得到了反差明顯的光刻圖形。
2、檢測結果表明,只要採用恰當的工藝,V形槽腐蝕並不傷害槽壁上熱生長的二氧化硅膜。
1、研究了憎水基團的添加量對溶膠體系的穩定*和對二氧化硅膜潤溼*以及水汽穩定*的影響。
3、並將無顯影氣相光刻的方法應用於這種二氧化硅膜的刻蝕,透過優化後的光刻工藝參數得到了反差明顯的光刻圖形。
2、檢測結果表明,只要採用恰當的工藝,V形槽腐蝕並不傷害槽壁上熱生長的二氧化硅膜。