“化學機械研磨”寫句子，用化學機械研磨造句

2、利用一化學機械研磨製程，移除該氧化物層的部分區域，以使該填滿溝槽的氧化物層與該第一多晶硅層大體上齊平。

1、半導體制程技術包括氧化、擴散、熱處理、合金化、再流動製程、銅製程及化學機械研磨製程簡介。