採用銷相技術，對電子束曝光機工件臺運動實現速度環的全數字控制。
紫外UV光固機、曝光機、貼膜機、*測試機、計算機通斷調試機、純水處理自動線等；
可變矩形電子束曝光機的基本曝光圖形是矩形。
正在研製的激光定位吊裝結構工作臺系統是電子束曝光機的主要組成部分。
研究了電子束曝光機圖形數據格式轉換軟件的分割、壓縮算法，針對傳統的圖形數據分割、壓縮算法存在的主要缺點，提出了新的分割算法和壓縮算法，並對壓縮算法進行了詳細的論述和研究。
爲實現電子束曝光機掃描場的線*畸變校正，設計了圖形發生器的成像系統，該系統包括硬件和軟件兩部分。
