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4、該評價方法可以爲航天器的總漏率測試法和真空檢漏法的不確定度評定提供一定的參考依據。
2、本文敘述了真空檢漏和真空充液對液浮慣*元件的重要作用;
1、介紹了國外衛星“真空檢漏法”和“累積檢漏法”的檢漏原理和主要*作步驟。
3、微小間隙抽真空以及真空檢漏等應注意的問題進行探討。
6、本文介紹了半導體制造專用設備的真空檢漏的原理、方法,以及用該方法解決實際問題的一些實踐經驗。
5、文章詳細介紹了真空檢漏設備數據採集系統硬件網絡的構建以及軟件的開發。
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