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指電子束蒸發器或曝光系統。
本論文利用電子束蒸發方法制備氧化鎢、氧化鎳薄膜的基礎上,研究了熱處理工藝對於薄膜電致變**能的影響。
最後利用電子束蒸發技術製備了薄膜樣品,樣品的光譜*能完全能夠滿足使用要求。
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